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新品发布|日本高新技术公司3D光学干涉测量系统“VS1800”强势登场

2019-03-05 10:24:06  来源:中国仪器网原创 浏览量:1045次
【导读】日立高新技术发布利用光干涉原理进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学干涉测量系统“VS1800”,该产品主要用于半导体、汽车、食品、医药品等产业领域的材料研究和开发方面。

   日立高新技术科学公司宣布,在中国开始销售利用光干涉原理进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学干涉测量系统“VS1800”,该产品搭配有支持多目的表面测量国际标准“ISO 25178*1参数对比工具”,通过简单而准确的样品测量支持客户的分析业务,与此同时,凭借不断创新积累的三维测量性能,实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。

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   此次发售的“VS1800”产品, 搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具”。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数,但在对比样品时,选择最适合评估的参数很难,成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具”,通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出最适合对比样品的参数,从而支持客户的分析业务。

   此外,“VS1800” 产品,通过光干涉方法*4除了可实现大视野测量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重现性外,亦通过日立高新技术科学自主研发的技术,继承了多层膜的无损伤测量等传统产品的高测量性能。此外,该产品还可搭配“大倾斜角测量选配 ”*6功能,通过捕捉大倾斜角斜面的微弱的干涉条纹变化,实现传统的光干涉方式无法实现的大倾斜角斜面测量,从而应对多种多样的样品表面性状的三维测量。

   日立高新技术集团拥有可实现极微细样品的高分辨率测量的原子力显微镜、扫描电子显微镜直至大视野、高精度测量可能的“VS1800”等产品阵容,提供表面分析解决方案,从而满足客户的广泛需求。

 *1 ISO 25178:规定表面形态评估方法的国际标准。

 *2扫描型白色干涉显微镜:利用光干涉原理进行非接触式、无损伤的表面形态测量的测量设备。

 *3激光显微镜:将激光作为光源进行表面形态测量的测量设备。 

 *4光干涉方法:是利用两列或两列以上的光波相互叠加而出现光明暗(干涉条纹)现象(干涉)的检查方法。

 *5 0.01 nm的垂直方向分辨率为Phase模式时的性能。

 *6“大倾斜角测量选配”为选择项目。


 

  注:日立高新技术以成为深受客户信赖的企业为目标,通过开展基于高新技术解决方案的"创造价值"为基础的事业活动,为社会的发展进步贡献力量。本公司在本着"公正透明"的诚信理念进行经营活动,在实现持续成长的同时,也充分重视在环保上与"环境的协调"。作为充满热情和自豪感的企业市民,为实现富裕的社会尽自己的力量。


【产品详情介绍】https://www。hitachi-hightech。com/cn/product_detail/?pn=vs1800&version=  

【联系方式】日立高新技术(上海)国际贸易环球彩票北京分公司

 负责人:耿婵婵  TEL:010-6590-8705



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2019-03-05 10:24:06
标签:干涉仪
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